Ellipsometrie
Messung von Dünnstauflagen und Restschmutz
Bis jetzt war es noch nicht möglich mit einem Online-Messverfahren Dünnstauflagen und Restschmutz zu messen. Diese dünnen Auflagen konnten bislang im Prozess nicht erfasst werden.
Mit unserem neu entwickelten optischen Messsystem, welches nach dem Funktionsprinzip der Ellipsometrie arbeitet, ist es erstmals möglich Schichtdicken bis zu 30 Nanometer zu bestimmen.
DIE WISSENSCHAFT 1 LITER ÖL VERTEILT AUF 30 FUSSBALLFELDER ZU MESSEN
Mit unserem neu entwickelten optischen Messsystem, welches nach dem Funktionsprinzip der Ellipsometrie arbeitet, ist es erstmals möglich Schichtdicken bis zu 30 Nanometer zu bestimmen.
